近年來，MEMS（微機電系統，Micro-Electro-Mechanical System）成為了半導體行業中最為火熱的概念。小到TWS耳機一次簡單的雙擊操作，大到智能汽車的碰撞保護，都離不開加速度MEMS的應用。MEMS廣泛應用于電子產品、汽車、醫療以及工業領域。根據Yole Developpement 的數據，2020 年全球 MEMS 市場價值 120.5 億美元，預計到 2026 年將達到182.6億美元，年增長率為7.2%。

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MEMS主要應用場景

如今可穿戴智能設備已經逐步普及，像是生活中常見的智能手表，之所以能夠每天監測自己是否完成了鍛煉目標，就是依靠MEMS實時監測加速度的變化，從而獲知佩戴者運動的狀態。運動時加速度MEMS檢測到一個周期性的正弦波，通過計算波峰、波谷的數量，就知道佩戴者每天運動的步數是否達標。

在汽車領域，加速度MEMS可以用于檢測意外的沖擊。比如電動車遭遇碰撞，加速度MEMS可以檢測碰撞時的G值，來判斷碰撞的的嚴重程度，以提供數據給車機進行判斷，是需要立刻對電池降溫保護，是否需要進行維護，或者是不用理會直接可以繼續使用。

而在醫療領域，像是地鐵站、商場常見的AED除顫儀，需要檢測按壓胸腔時的力度，同時需要盡可能長時間的續航表現，那么配備一個加速度MEMS自然是非常合適的選擇。

除此之外，加速度MEMS還可以實現很多輔助性的工作。像是很多電子設備平時只需要為加速度MEMS保留一個很小的供電，就可以讓大部分系統保持待機狀態，最大程度上實現節能的效果。

新款ADXL367對比老款ADXL362

針對產業智能化不斷增加需求，ADI MEMS于8月29日推出了全新一代加速度傳感器——ADXL367，各項指標均有提升的前提下，新增支持了I2C數字接口，面積降低了47%，高度減小了20%，采用最常見的CR2032紐扣電池供電情況下，在低功耗模式下可實現29年的續航表現，檢測模式下可實現143年的續航表現。

針對汽車市場，ADI推出了車規級低功耗大量程加速度計ADXL314，其工作范圍為–40°C至+125°C，量程為200g，工作電流50μA/170μA(低/高數據速率)，可實現高達3200Hz輸出數據速率，可應用于胎壓監測、電動車電池監測、碰撞檢測EDR。

在談到智能化的趨勢時，ADI亞太區微機電產品線總監趙延輝認為所有的傳感器會越來越智能化，即intelligent edge (智能邊緣)，這是不可逆的趨勢。但一定不是為了智能而智能，而是需要了解客戶的痛點是什么，再通過一些數字化的功能去解決它，而不是簡單地堆砌。

新款ADXL367體積下降明顯

具體案例方面，像是此次發布的ADXL367就集成了智能化的功能。對于TWS真無線的耳機，ADXL367就集成了單擊、雙擊的監測算法，不需要客戶（TWS廠商）去做算法分析，MEMS通過判斷輸出波形來確定用戶是不是在做一個或者雙擊的動作，從而解放TWS中央處理器的計算壓力。

早在上世紀90年代，MEMS就已經取代了機械式碰撞傳感器，成為了絕大多數汽車安全氣囊的首選方案。隨著電子設備的隨身化、汽車的智能化以及各個產業的智能升級，MEMS也將獲得持續向上發展的空間。（本文首發鈦媒體App，作者/吳泓磊，編輯/鐘毅）

關鍵詞： mems adxl367